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型号:

多通道质子流量计控制系统--GSL-LCD(控制面板为触摸屏)20160805

描述:产品简介:GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    179
详细介绍

 

 

img1

产品简介: GSL-LCD 是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里, 移动柜可以承重 1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上  以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一 6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD 实验和各种材料的退火实验。

 

产品型号

GSL-LCD(控制面板为触摸屏)

技术参数

功能

双通道

三通道

四通道

五通道

 

      

工作温度: 5~45ºC

压力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线  : ±  0.5-1.5   %F.S.         

: ±0.2%F.S.

流量范围:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意: 其他流量范围的 可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC

压力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线  : ±  0.5-1.5  %F.S.

重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意: 其他流量范围的 可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC

压力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线  : ±  0.5-1.5  %F.S.         

: ±0.2%F.S.

流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意: 其他流量范围的 可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 ºC

压力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线性: ±0.5-1.5%F.S.

重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM          -九路可按照客户要求 定制

产品规格

外形尺寸: 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

输入电源

AC 220V/50Hz 单相

  

23W

 

各通道的气路设定和查看都集中在一 6"的触摸屏上

 

RS485 通讯接口和 PC 控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

 

 

PLC 触摸屏

 

 

img3

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

  

316 不锈钢

通气管道

内部连接管道为 1/4”不锈钢管

外部通气管道为 1/4”聚四氟管

 

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混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配 

316 不锈钢针阀

Φ1/4” 不锈钢管

 

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