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型号:

混气系统3路质子GSL-3Z

描述:产品简介:混气系统3路质子GSL-3Z是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    206
详细介绍


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产品简介: 混气系统 3 路质子 GSL-3Z 是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉, 这种气体控 制系统安装在移动架内, 管式炉可以放在移动架上面, 气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的 调节阀,可以用于 CVD 系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响,在半导体和集成电路工业、特种 材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用, 广泛应 用于电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及 其它分析仪器。


产品型号

混气系统 3 路质子 GSL-3Z

主要特点

精度高,运行稳定可靠,工作压力范围宽,可在高压或真空条件下工作,且操作使用方便。

技术参数

1、电源: 185-245V    50Hz


2、输出功率: 18W


3          1——0-100SCCM     2——1-199SCCM    

3——1-499SCCM


5、准确度:± 1%FS


6、线性:±0.5-1.5%


7、重复精度:±0.2%FS


8、响应时间: 气特性 1-4s ,电特性 10s 针阀: 316 不锈钢





9、工作压差范围: 0.1-0.5 MPa


10、压力表测量范围: -0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid


11、混气罐: Ø80mm×120mm


12、截止阀: Ø1/4″ 316 不锈钢针阀


13、工作温度: 5-45

产品规格

尺寸: 600mm×600mm×650mm


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