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型号:

精密液体气相发生器

描述:产品简介:精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵来控制,流量为80ml/min,精确度为0.005ml

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    208
详细介绍


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产品简介: 精密液体气相发生器是针对实验室 CVD 实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵 来控制, 流量为 80ml/min ,精确度为 0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后,被系统里的加热装

置加热成蒸汽, 然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体,  ETOH SnCl4  TiCl4R

SiHCl3  ZnC2H52,以及多种有机物混合。对于研究用 CVD 方法生长纳米线和薄膜是的研究设备。



产品型号

精密液体气相发生器

主要特点

1 、流体和气体在一个 316 不锈钢罐中加热。


2 、采用 30 段程序化控温。


3 、气体流速通过浮子流量计控制。


4 、配有压力表,可测出液气混合罐中的气体压强。


5 、配有两个不锈钢针阀,以控制气体进出。


6 、可与本司所有管式炉和 CVD 系统相连接。


7 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源: 单相 AC208V-240V    50Hz/60Hz


2、功率: 1000W


3、蠕动泵:精确度±0.02%FS ,流量 0-80ml/min (可调)


4、工作温度: 300





5 、控温精度:±1


6、浮子流量计: 0-2000ml/min (可调)


7、出气口: 外径 1/4″

产品规格

尺寸: 350mm×335mm×300mm;重量: 5kg

可选配件

加热带(缠绕在外接的管道上,以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。)


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