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型号:

EQ-TM106膜厚监测仪

描述:产品简介:EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合的频率测量技术,进行膜厚的在线监测

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    271
详细介绍


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产品简介: EQ-TM106 膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理, 结合的频率测量技术, 进行膜厚的在线  监测。主要应用于 MBE OLED 热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,用于对膜层厚度及镀膜速率  进行实时监测。 EQ-TM106 膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出 PWM (脉冲宽度调制) 模拟量, 作为膜厚传感器使用, 与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制,从而检测所制备薄膜的厚度。 EQ-TM106 膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间, 原理简单, 操作方便, 尤其适合于实验室中薄膜制备  过程的使用。


产品名称

EQ-TM106 膜厚监测仪

产品型号

EQ-TM106

主要特点

1 、本机可与计算机连接。


2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、 频率、 PWM 控制输出的百分比等工作状态。


3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数 等进行设置, 并可将所测相关数据写入 Excel 文件。


4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

技术参数

EQ-TM106-1 监测组件


1、电源: DC    5V(±10%),电流 400mA


2、频率分辨率: ±0.03Hz


3、膜厚分辨率: 0.0136Å (铝)





4、膜厚准确度: ±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度


5、测量速度: 100ms-1s/次,可设置


6、测量范围: 500000Å (铝)


7、标准传感器晶体: 6MHz


8 、计算机接口: RS-232/485 串行接口(波特率 1200 2400 4800 9600 19200 38400  设置,数据位: 8,停止位: 1,校验:无)


9、模拟输出: 8 比特分辨率, PWM 脉宽调制输出(集电极开路或内部 5V 输出)


10、工作环境: 温度 0-50℃, 湿度 5%-85%RH,不得有冷凝水珠


11、外形尺寸: 90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2 显示仪

1、输入电源: AC 220V±10%


2、输出电源: DC    5V    3A


3、显示器: 12×2 数码管与 LED


4、通讯端口: RS-485(波特率 1200 2400 4800 9600 19200 38400 可设置,数据位:

8 位,停止位: 1 位,奇偶校验:无)


5、外形尺寸: 182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3 探头

1、适用晶片频率: 6MHz


2、适用晶片尺寸: Ø14mm


3、安装法兰: CF35


4、冷却水管: Ø3mm ,长度 300mm 500mm 1000mm


5、冷却水压: <0.3MPa


6、气动挡板路管: Ø3mm


7、压缩空气压力: <0.8MPa >0.5MPa





8、烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100


9、电气接口: BCN 插座

标准配件

1

EQ-TM106-1 监测组件

1 

2

EQ-TM106-2 显示仪

1 

3

EQ-TM106-3 探头

1 


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