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型号:

PMS 椭偏在线监测装备03090810

描述:产品简介:椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要,专门设计的在线薄膜测量系统

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    179
详细介绍

 

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产品简介: 椭偏在线监测装备针对 LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要,专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件,自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的 PI 配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/ 无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。

产品型号

PMS 椭偏在线监测装备

主要特点

1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告

 

2、支持 193-2500nm 全波段分析测量

 

3、支持多椭偏方案,多组合集成

 

4、支持测头模块以及样件机台定制化

技术参数

测头规格

穆勒矩阵椭偏测

光谱椭偏测头

反射膜厚测头

自动化程度

可变/固定角+

可变/固定角+

垂直角+

 

 

mapping

mapping

mapping

应用定位

高阶高精度型

高精度型

通用型

单次测量时间

0.5-5s

小于 1s

分析光谱

380-1000m(支持扩展至 193-2500nm)

380-1100nm

Mapping 行程

支持行程定制化

支持样件尺寸

安需定制化

 

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