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型号:

SE-L光谱椭偏仪03090804

描述:产品简介:SE-L光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪,集众多科技技术,采用行业前沿创新技术,配置全自动测量模块

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    390
详细介绍

 

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产品简介: SE-L 光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪,集众多科技技术,采用行业前沿创新技术,配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。SE-L 光谱椭偏仪广泛应用于半导体薄膜结构:介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、 PZT 膜,激光二极管 GaN 和AlGaN、透明的电子器件、平板显示、光伏太阳能、功能性涂料、生物和化学工程、块状材料分析等领域。

 

产品型号

SE-L 光谱椭偏仪

主要特点

1、高精度自动测量光学椭偏测量解决方案

 

2、全自动变角、调焦等控制平台,一键快速测量

 

3、软件交互式界面配合辅助向导式设计,易上手、操作便捷

 

4、丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力

 

5、采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围

(193-2500nm)

 

6、高精度旋转补偿器调制、 PCRSA 配置, 实现Psi/Delta光谱数据高速采

 

7、全自动椭偏测量技术,基于行业电机控制技术,全自动调整测量角

 

度,高精度控制样件台,实现样件快速自动对准找焦

 

8、颐光技术确保在宽光谱范围内,提供优质稳定的各波段光谱

 

9、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度:自动变角

 

2、应用定位:自动型

 

3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光谱

 

4、分析光谱: 380-1000nm(可扩至 193-2500nm)

 

5、单次测量时间: 0.5-5s

 

6、重复性测量精度: 0.01nm

 

7、光斑大小: 大光斑 2-3mm,微光斑 200um

 

8、入射角调节方式:自动变角

 

9、入射角范围: 45-90°

 

10、找焦方式:自动找焦

 

11、Mapping 行程: 支持 100x100mm(可选配)

 

12、支持样件尺寸:  200mm

可选配置

波段选择

 

V:380-1000nm

 

UV:245-1000nm

 

XN:210-1650nm

 

DN+:193-2500nm

角度选择

 

自动:45-90°

 

其他选择

 

Mapping 选择:100×100mm(供参考,按需定制)

 

温控台:室温一 600℃(供参考,按需定制)

可选配件

1

温控台

2

Mapping 扩展模块

3

真空泵

4

透射吸附组件

 

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