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型号:

SE-VM光谱椭偏仪03090802

描述:产品简介:SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    188
详细介绍

 

 

 

img1

 

产品简介: SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度,微光斑,可视 化调平系统等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计。

高精度椭偏测量解决方案;超高精度、快速无损测量;支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制;丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力。广泛应用于镀膜工艺控制、tooling 校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。

产品型号

SE-VM 光谱椭偏仪

主要特点

1、采用高性能进口复合光源,光谱覆盖可见到近红外范围img2(380-1000nm)

 

2、高精度旋转补偿器调制、 PCRSA 配置, 实现Psi/Delta光谱数据高速采集

 

3、支持系列配置灵活,可根据不同应用场景支持多功能模块化定制

 

4、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度:手动变角

 

2、应用定位:通用型

 

3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光谱

 

4、分析光谱 380-1000nm(可扩至210-1650nm)

 

5、单次测量时间: 0.5-5s

 

6、重复性測量精度: 0.01nm

 

7、光斑大小: 大光斑 2-3mm,微光斑 200 μm

 

8、入射角调节方式:手动变角

 

9、入射角范围: 55-75°(5°步进),90°

 

10、找焦方式:手动找焦

 

11、Mapping 行程:不支持

 

12、支持样件尺寸:  180mm

可选配件

1

温控台

2

Mapping 扩展模块

3

真空泵

4

透射吸附组件

 

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