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型号:

SE-i 光谱椭偏仪03090808

描述:SE-i光谱椭偏仪产品简介:光谱椭偏仪SE-Vi是一款集成式原位光谱椭偏仪,针对有机/无机镀膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发,快速实现光学薄膜原位表征分析

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    256
详细介绍


SE-i 光谱椭偏仪


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产品简介: 光谱椭偏仪 SE-Vi 是一款集成式原位光谱椭偏仪,针对有机/无机镀膜工艺研究 的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化开发,快速实现光学薄膜原位表征分析。光谱椭 偏仪广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积, ALD 沉积等光学薄 膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。




产品型号

SE-i 光谱椭偏仪

技术参数

1、自动化程度:固定变角


2、应用定位:原位定制型


3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S 等光谱


4、分析光谱: 380-1000nm,支持按需定制化


5、单次测量时间: 0.5-5s


6、重复性测量精度: 0.01nm


7、入射角范围: 65°(支持定制)


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