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型号:

PCE-6小型等离子清洗机

描述:产品简介:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为160mm190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    214
详细介绍

产品简介:

  PCE-6 小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm 的石英腔体, 采用的射频电源功率 3.0MHz 1%),输出功率 7.2W 10.2W 29.6W 三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等 离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质 (如亲水和疏水性等),对于基片的 清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

产品型号

PCE-6 小型等离子清洗机

     主要特点

1、通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。

、时间、功率、 真空度等信息显示在一组 4 位数码管上。

 

img2

、设有一个三通阀, 可精确控制进气流量, 以及大气流清洗腔体,进气接口为 6mm 卡套 接口。

4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

技术参数

1 、电源: AC220V    50/60Hz

2、输出功率: 7.2W 、10.2W 、29.6W

3、真空泵功率: <500W

4、总功率: <600W

5、射频频率: 3.0MHz ,功率 3 档可手动调节

6 、等离子腔体: 高纯石英腔体, Ø160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰 上设有 Ø45mm 的观察窗

7、真空泵: 240L/min,直连式双旋真空泵

8、极限真空度: 50mtorr

9 、通入气体: 可通入多种气体来产生等离子, 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合气体等(根 据材料性质选定)

清洗及蚀刻

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产品规格

尺寸: 400mm×300mm×300mm,重量: 10.2kg

可选配件

1 、2"-6"石英舟(盛放基片)

2 、2-4 通道质子或浮子混气系统

 
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