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型号:

GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪

描述:产品简介:GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300Å,特别适用于SEM样品表面的镀膜

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
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详细介绍

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产品简介: GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪, 可进行金、铂、铟、银 等多种金属的溅射镀膜, 样品直径可达 50mm ,镀膜厚度可达 300Å, 特别适用于 SEM 样品表面的镀膜 GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态; 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈, 可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边"现 象; 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用。 GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪体积小,  操作简单,适合用于实验室中对小样品的镀膜使用。


产品名称

GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

产品型号

GSL-1100X-SPC-16

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度 99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)


4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通风装置:不需要

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。


2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电 离气体,以获得的镀膜效果。


3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。


4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。


5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀





纯净。


6 、已通过 CE 认证。

技术参数

1、电源: 220V


2、总功率: <2000W  (包括真空泵)


3、真空室: Ø160mm×120mm


4 样品台: Ø50mm,且高度可调, 可同时进行 8  SEM 样品的镀膜


5 max 均匀镀膜: Ø45mm

产品规格

尺寸: 400mm×300mm×400mm;重量: 30kg

标准配件

1

金靶材

1 

2

进气针阀

1 

3

保险丝

2 

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材


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