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型号:

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

描述:产品简介:VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),控制面板采用触摸屏模式,基片极限尺寸为2″,放置样品的直径为Ø50mm,加热温度达500℃

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
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    202
详细介绍

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产品简介: VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型 控制面板采 用触摸屏模式, 基片极限尺寸为 2″ ,放置样品的直径为 Ø50mm ,加热温度达 500℃。 VTC-16-3HD 3 靶等 离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材, 不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台, 能够依次在同 一样品上涂覆三层薄膜, 适用于实验室制备复膜的样品。 VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪采用 PLC 控制面 板对设备进行控制, 操作方便直观。该机设备小巧, 占用实验室空间少, 操作简单, 应用广泛。因此被广 泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。


产品名称

VTC-16-3HD 3 靶等离子溅射仪

产品型号

VTC-16-3HD 3

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃, 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度 99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶


4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通风装置:需要

主要特点

1 PLC 控制面板, 4.3″触摸屏, PID 控温方式。


2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。


3、可与真空泵、 不锈钢波纹管 KFD25 快速卸装卡箍连用。


4 、已通过 CE 认证。




技术参数

1、输入功率: 110V/220V 通用   2000W  (含真空泵)


2、输出功率: 1600VDC    50mAmax 电流)


3、石英罩: Ø160mm×120mm


4、样品台: Ø50mm  (可选购加热型样品台,极限温度可到500℃; 极限溅射时间不可超过5min


5、真空泵: 120L/M 旋片式真空泵


6、进气口:装有精密可调针阀,以实现方便的调节进气量


7、靶材:尺寸直径 Ø47mm ,厚度 0.5mm-3mm;可溅射 Au Ag Pt Cr Ni,不可溅射氧 化物、半导体、一些轻金属、 Al Zn C 

产品规格

尺寸: 360mm ×350mm×3600mm;重量: 50kg

可选配件

1 KF25 真空接口、卡箍


2、不锈钢波纹管(600mm


3、旋片式真空泵( 120L/M


4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材


5、加热型样品台


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