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型号:

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪

描述:产品简介:GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al、Au等)和小分子的有机物

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
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    175
详细介绍

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产品简介: GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪, 特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜 (如 Ti Al Au 等) 和小分子的有机物。 本机设有 4 个蒸镀加热舟, 每个加热舟都可独立进行蒸镀,  热舟上方有一个可旋转挡板, 当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住, 以防蒸镀材料之间 相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜, 可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研 究要求,是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备。GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪腔底部配有 5 个水冷 电极, 在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化, 进而损坏电极。该机采用金属腔室,  有的真空度,真空度可达到 5.0×10-7torr ,样品台可对样品进行加热,加热温度为室温-500 ,是进行 高真空蒸发镀膜的设备。


产品名称

GSL-1800X-ZF4 蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF4

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃, 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、工作台:落地式, 占地面积 2m2 以上。


4、通风装置:需要

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。


2、采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。


3、真空腔体设有 1  KF40 旁抽阀(直接与前级机械泵相连,提高效率)、 1  CF150 闸板阀





(直接与分子泵相连) 、1  KF16 法兰(安装电阻规) 、6  CF35 法兰( 1 个安装电离规, 1 个安装 2 芯电极, 1 个安装膜厚仪)

3 个备用。


4、在腔体底部配有 5 个水冷电极, 可支持 4 个蒸镀加热舟。


5、样品台安装在腔体的顶部。


6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪, 膜厚测量分辨率(铝) 为0.1Å。


7、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入: 单相 AC220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW (不含真空泵)


2、蒸发输出: 电压 AC 0-8V 连续可调,极限蒸发电流 200A,极限蒸发功率<1.6KW


3、真空腔: Ø300mm (内径)× 400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理


4、观察窗: Ø100mm,采用专用密封圈密封


5、真空泵:高抽速涡轮分子泵, 抽速600L/s


6、真空度: 8.0x10-4Pa


7、极限真空 8.0x10-5Pa


8、漏率: 6.7×10-8Pa ·L/S


9、样品台:φ 120


10、蒸发舟与样品台间距: 150-210mm


11、冷却水需量: 15L/min

产品规格

尺寸: 900mm×1100mm×1800mm;重量: 230kg


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