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型号:

OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉

描述:产品简介:OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉是一款快速蒸发管式炉,专门用于PVD或CSS法制作薄膜

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    214
详细介绍

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产品简介: OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜(CSS)炉是一款快速蒸发管式炉, 专门用于 PVD  CSS  法制作薄膜; 其炉管外径为 11″ ,炉管内载样盘可放置 3″ 的圆形或 2″×2″的方形基片; OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜( CSS )炉加热元件为两组红外灯管, 分别安装在腔体顶端和底部, 升温速率高达 20℃/s ,可迅速使炉腔内温度升高; 冷却速率: >10/s ,可在镀膜后使样品快速降温; 温控系统采用 PID30 段程序化控制, 控温精度为±1℃, 并且仪器面板上带有 RS485 接口, 若仪表内配有控温软件, 就可将升 温程序和曲线导出。


产品名称

OTF-1200X-RTP-II 近距离蒸发镀膜(CSS)炉

产品型号

OTF-1200X-RTP-II

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)


2、电: AC220V 50Hz20A 空气开关),必须有良好接地


3 、气: 设备腔室内需充注氩气(纯度 99.99%以上 需自备氩气气瓶(自带 Ø6mm 双卡套接


头)


4、工作台:设备为落地式, 占地面积 1m2 以上


5、通风装置:需要

主要特点

1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上。


2 、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片(Ø76mm×0.5mm),使得样品基片上的温度更加





均匀。


3 3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料。


4 、真空法兰通过两个硅胶 O 型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达 10-2torr ,通过分子 泵真空度可达 10-5torr


5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。


6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可以精 确测量腔内真空度。

技术参数

1 、电源: 单相 AC208V-240V (需 20A 的空气开关)


2、真空腔体:高纯石英管, 外径 280mm ,内径 275mm ,高 229mm


3、加热元件: 两组 IR 红外灯管, 额定功率 800W ,总功率 1600W


4、热电偶: S 型热电偶 2 个,分别安装于上下法兰上


5、工作温度:两个加热区域单独工作的极限温度≤650℃,两加热区域极限温差≤350


6、加热速率: >8/s

7、冷却速率: >10/s600-100℃)


8、真空法兰: 316 不锈钢制作, 配有 1  KF-25 接口、 2  1/4″软管接头


9、真空计:数字式真空显示计

可选配件

1 PC 控温软件


2、两路混气系统


3、多路浮子混气系统


4、多路质子混气系统


5、真空泵


6、水冷机


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