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型号:

微型PECVD系统

描述:产品简介:微型PECVD系统采用Ø3"×16"的石英腔体,内部设有加热圈对样品进行加热,温度可以达到400℃,且采用程序化控温,系统还配有2通道混气装置和双旋机械泵,整套系统安放于移动架上,便于实验操作

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
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详细介绍

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产品简介: 微型 PECVD 系统采用 Ø 3" × 16" 的石英腔体, 内部设有加热圈对样品进行加热, 温度可 以达到 400 ,且采用程序化控温,系统还配有 2 通道混气装置和双旋机械泵,整套系统安放于移动架上, 便于实验操作。本系统系对于薄膜生长和纳米线的制作是的选择。


产品型号

微型 PECVD 系统

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源


4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通风装置:需要

主要特点

1、加热圈套有石英罩,以减小热量损失。


2、样品可置于加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度均匀性。


3 、采用 PID 方式调节温度, 可设置 30 段升降温程序。


4、设有一滑动法兰安装于移动加上,以便于样品的放入和取出。


5 、已通过 CE 认证。

技术参数

等离子源


1、等离子体射频电源: 110V/220V    50Hz/60Hz    <100W


2、输出频率: 13.56MHz





3、射频功率: 7.2W 10.5W 18W 三档,可调节


4、腔体尺寸: 外径 Ø76.2mm×内径 Ø68.58mm×长 406.4mm


5 、加热圈: 电源 220V ,功率 500W ,外径 Ø50mm×内径 Ø40mm×70mm ,并套有内径 Ø50.8mm×Ø75mm 的石英罩


6、法兰: Ø3″不锈钢法兰, 设有 KF-25 真空泵接口、 1/4″卡套接头、不锈钢针阀


7、通入气体:可通入多种惰性气体,  N2 Ar,不可通入易燃易爆性气体


8、真空度: 10-2torr  (机械泵)

两通道混气系统


1、浮子流量计: 10ml/min-100ml/min 2 


2、针阀: 304 不锈钢针阀, 3 


3、压力表: -0.1MPa-1.0MPa0.01MPa/grid), 3 

真空泵


1、抽气速率: 120L/min


2、接口: KF-25

产品规格

1 、尺寸: 等离子源 216mm×254mm×203mm ,控制盒 102mm×254mm×203mm,两通道混 气系统 340mm×300mm×180mm  ,移动架 600mm×600mm×1250mm


2、重量: 32kg


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