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型号:

VTC-200P真空旋转涂膜机

描述:产品简介:VTC-200P真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-07
  • 访问量

    229
详细介绍

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产品简介: VTC-200P 真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。 本机可用于强 酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。 VTC-200P 真空旋转涂膜机腔体不可抽真空, 工作时利用真空盘吸附的 方式将样品固定在载样盘上,该设备可储存 12 组程序,每组程序包含 6 个运行阶段。不同运行阶段设备转 数不同, 使设备缓慢提升速度限速度, 有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜, 且不会过多浪费, 节约 材料。 腔室的上盖可以对样品进行加热(可选功能 有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆过程的进行 VTC-200P 真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所 的实验室中进行薄膜的生成过程。




产品名称

VTC-200P 真空旋转涂膜机

产品型号

VTC-200P

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:设备配有进出水口


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:不需要


4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通风装置:需要

主要特点

6 个运行阶段, 每段增减速率设置范围img2100—2000rpm/s,每段

1 设有 12 组程序, 每组包含

时间范围: 0—60s





2、真空吸附方式固定样件,操作简便。


3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa


4、使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。


5、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。


6 、电机采用 24V 直流无刷电机,无级调速,可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低, 震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。


7、本机可置于手套箱内使用,但控制部分与真空泵需置于箱外。


8 、可在惰性气体气氛(如 Ar N2 )下进行涂层。


9、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。


10、腔体通体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。


11、全英文操作系统。


12、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止


13、控制器采用单控制箱,液晶显示数值,更直观可靠。


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技术参数

1、电源: 220V      50HZ


2、电机功率: 350W/24V


3、转速: 500rpm-6000rpm 之间可调


4.可储存 12 组程序, 每组程序包含 6 个运行阶段,

5、每段增减速率设置范围: 100 rpm s2000 rpm /s,每段时间范围: 0-60s


6、吸盘规格φ 100mm


7、本机可选配加热功能: 加温范围 RT-99%





加热盖,水槽及吸盘采用聚丙烯材质

温度单独控制,与主机程序控制无关联

产品规格

尺寸:φ250mm×360mm;重量: 20kg

标准配件

1

φ100mm 真空吸盘


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1 

2

O 型胶圈

1 



3

滴液器


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1 

4

滴液器支架

1 


中心定位器




5

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1 



6

无油真空泵


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1 

可选配件

进口移液器

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国产移液枪


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其它尺寸的真空吸盘


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