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型号:

PCE-6V小型等离子清洗机

描述:产品简介:PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-12
  • 访问量

    205
详细介绍

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产品简介: PCE-6V 小型等离子清洗机集成了 RF 等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采  用气体作为清洗介质, 有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵, 清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面, 可短时间内清洗掉有机污染物, 清洗程度可达到分子  级。另外, 其样品台可选配加热功能, 可加负偏压, 用以实现离子蚀刻。此外, 其可在特定条件下根据需  要改变某些材料表面的性能。


产品型号

PCE-6V 小型等离子清洗机

主要特点

1、采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。


2 、可短时间内清洗掉有机污染物。


3 、清洗程度可达到分子级。


4 、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。


5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消 毒和杀菌。


6 、样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。


7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、 微观流体学等领域。

技术参数

1 、电压: AC220V    10A


2、消耗功率: <500W  (包括真空泵)


3 RF 电源: 输出功率 100W ,输出频率 13.56MHz





4、腔体: Ø190mm×98mm


5、石英管: Ø180mm×55mm ,壁厚 7mm


6、内腔: Ø165mm×55mm


7、清洗电极: Ø120mm


8、样品台: Ø150mm ,有效尺寸 Ø140mm


9、样品台与电极间距: 15mm-50mm 可调


10、抽气管: Ø12mm


11、极限真空度: 0.1Pa


12、工作真空度: 60Pa-500Pa


13、气路数量: 2 路(选装)


14、流量控制器数量: 1 2


15、流量显示仪: 2 通道


16、气路接口: Ø6mm


17、加热样品台: Ø140mm ,加热样品温度 RT-600℃±1℃(选装)


18、冷却水压力: 0.2KPa-0.4KPa


19、工作环境: 温度 5-35℃,湿度<80%  (相对湿度)不结露, 海拔高度 0-2000m

产品规格

尺寸: 245mm×235mm×460mm  (不含真空泵),重量: 20kg  (不含真空泵)

可选配置

1、加热样品台


2、流量控制器(量程 10 50 100 ,最多可增加 2 个通道)


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