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型号:

GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪2

描述:产品简介:GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的、可靠、经济的镀膜设备

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-12
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详细介绍


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产品简介: GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的、 可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶, 旋转样品台可依次在同一样品上 涂覆三种材料。因此,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。


产品型号

GSL-1100X-SPC-16-3 等离子三靶溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25±15℃, 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度 99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)


4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通风装置:不需要

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。


2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电 离气体,以获得镀膜效果。


3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。


4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。


5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀 纯净。





6 、已通过 CE 认证。

技术参数

1、靶: Ø45mm


2、真空室: Ø160mm×120mm


3、真空度:≤4×10-2mbar


4、靶位: 3 


5、电流: 50mA


6、可设定最长时间: 900s


7、微型真空气阀: 连接 Ø3mm 软管


8、电压: 1600V    DC


9、机械泵: 2L/s

标准配件

1

金靶材

1 

2

铜靶材

1 

3

铝靶材

1 

4

进气针阀

1 

5

保险丝

2 

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材


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