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型号:

2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC

描述:产品简介:2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统,配备30KW感应加热器、8.5(216mm)石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架,温度可以达到2000℃(使用时石英管内需通入保护性气体),是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的选择

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-12
  • 访问量

    214
详细介绍

产品简介: 

    2000℃温度可控型 30KW 感应加热炉 SP-85KTC 是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统,配 备 30KW 感应加热器、8.5"(216mm)石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min 循环冷水机、真空泵和移动炉架, 温度可以达到 2000℃ (使用时石英管内需通入保护性气体) ,是生 长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的选择。

产品型号

2000℃温度可控型 30KW 感应加热炉 SP-85KTC

 

 

 

 

 

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电: AC380V 50Hz(63A 空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度 99.99%以上) ,需自备氩气气瓶(自带 6mm 双卡套接头)

4、工作台: 尺寸 1500mm×600mm×700mm ,承重 200kg 以上

5、通风装置:需要

 

 

 

主要特点

1 、采用多块氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。

2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

3 、温控器采用 PID 方式控温, 可设置 30 段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。

4、配有防腐型真空计, 当气压在 10mbar 以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换, 量程可到 3.8×10E-5torr。

5 、迷你型浮子流量计精度为 4%。

 

6、配有双级旋片机械泵(2L/s), 可使石英管内真空度达到 10E-2torr。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

技术参数

感应加热器

1、工作电压: 三相 AC 380V 50Hz(需 60A 空气开关)

2、工作电流: 7Amps-70Amps(需 100A 空气开关)

3、功率: 振荡功率 30KW ,输入功率 15KW

4、输出频率: 30KHz-110KHz

5、占空比: 80%

6、感应线圈: 内径 Ø220 mm ,高 65 mm

7、空气冷却:后风扇

温度控制器及热电偶

1、工作电压: AC208V-240V    单相

2、控温精度:±3℃

3、热电偶: C 型, 外径 Ø1/4" ,长 10"

4、连续工作温度范围: 1000℃-2000℃

5、升温速率: 4℃/s( 1000℃-1200℃) 、3℃/s( 1200℃-1500℃) 、1℃/s-2℃/s( 1500℃-2000 ℃)

石墨坩埚(易耗件)

1、高纯石墨坩埚: 外径 Ø114mm ,内径 Ø100mm ,高 142mm

2、容量: 样品所占容积应为石墨坩埚容积的 1/2 ,质量为 4kg  (以铁标定)

3、保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料, 从内至外分别为石墨毡(可耐温 2200℃) -氧化 铝(可耐温 1700℃) -高温毡, 总厚度为 32mm

石英管和密封法兰

1、石英管:两端开口, 外径 Ø216mm ,内径 Ø208mm ,长 500mm

2、顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰, 装有防腐型真空计、不锈钢截止阀, 设有 1 个 1/4"的 铠装接口(可插入热电偶至石英管内部,更准确地测量样品温度)

3、底部法兰: 设有 KF25 接口,可通过波纹管与真空泵相连接

水冷机

1、温度: 5℃-30℃

2、水流速: >16L/min

3、水箱容积: 12L,采用不锈钢制作

4、水压:≥0.1MPa

5、流量:≥5L/min

建议使用特定的冷却剂液以达到的冷却效果)

 

真空泵

工作电压: AC208V-240V 单相

移动炉架

尺寸: 700mm×1000mm×700mm,钢框架结构,方便移动感应加热器和带法兰的石英管

 

 

 

产品规格

img6

 

注意事项

操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的 流动氩气下进行,流量小于 200ml/min ,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa 。升温过程中需 时刻注意石英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身 伤害。

 

 

 

 

其他事项

本机可改为 RTP  (快速热处理炉) 和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。

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