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型号:

GPC-100A精确磨抛控制仪

描述:产品简介:GPC-100A精确磨抛控制仪简称磨抛控制仪,主要用来控制被研磨样品表面的平面度和平行度,使磨抛后的样品具有高的尺寸精度和质量优良的表面状态

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-12
  • 访问量

    155
详细介绍

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产品简介: GPC-100A 精确磨抛控制仪简称磨抛控制仪, 主要用来控制被研磨样品表面的平面度和平行度, 使磨抛后的样品具有高的尺寸精度和质量优良的表面状态。磨抛控制仪采用质量优良的不锈钢材料制成,   外形美观,制造工艺,主要适用于 UNIPOL-1202UNIPOL-1502 研磨抛光机上,是工件进行磨抛时不  可缺少的精密磨抛器具, 尤其适用于晶圆样品、表面平行度和平面度要求高的大的圆片状样品的研磨。   GPC-100A 精确磨抛控制仪专用载样块用螺纹与控制仪进行连接, 试样装卡方式为真空吸附, 并配有数显  厚度测量仪,可实时监测样品减少的厚度,承载样件直径不大于 103mm 、厚度不大于 13mm 且具有工艺重  复性高的优点。




产品名称

GPC-100A  确磨抛控制仪

产品型号

GPC-100A

主要特点

可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度,控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使 用,随时观测样品磨削量,尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高的晶圆样品研磨 使用。

技术参数

1、载样盘直径: Ø103mm


2、载样盘轴向行程: 12mm


3、数显表精度: 0.001mm


4、载样盘可调加载压力: 0.1kg-2.1kg


5、压力确认仪有效量程: 1g-5000g


6、样品装卡方式:真空吸附


7、承载样件尺寸:直径≤ 103mm、厚度≤ 13mm




产品规格

尺寸: 外径 146mm ,高 266mm

标准配件

1、真空泵


2、过滤瓶


3、底座


4、玻璃片


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