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型号:

1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

描述:产品简介:1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV是由单温区管式炉、三路浮子混气系统和双旋片式真空泵组成,工作温度可达1700℃,混气系统可以对三种气体进行精确的混气,真空度可达5×10-2torr

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-12
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详细介绍


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产品简介: 1700℃单温区三通道混气 CVD 系统 GSL-1700X-F3LV 是由单温区管式炉、三路浮子混气系统 和双旋片式真空泵组成,工作温度可达 1700 ,混气系统可以对三种气体进行精确的混气,真空度可  5 ×10-2 torr


产品型号

1700℃单温区三通道混气 CVD 系统 GSL-1700X-F3LV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源


4、工作台: 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上


5、通风装置:需要

主要特点

1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。


2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,有效减少能量损失。


3 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和延长使用寿命。


4 、采用 PID 控制器 ,可以设置 30 段升降温程序,并设有过热和断偶保护功能。


5 、已通过 CE 认证。




技术参数

管式炉


1 、电源: 单相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    5KW


2、炉管: 99.8%高纯氧化铝陶瓷管, 外径 Ø80mm ,内径 Ø72mm ,长 1000mm


3、加热元件: 1800℃级硅钼棒 8 


4、加热区域: 457mm


5、恒温区域: 150mm


6 、工作温度:  1700


7、升降温速率: 5/min


8、控温精度:± 1


9、真空度: 5×10-2 torr

10、泄漏率:  6mtorr/min

真空系统

1、真空泵:双旋片机械泵

2、可达真空度: 5×10-2 torr


3、法兰:不锈钢密封法兰


4、针阀: 2 个不锈钢针阀


5、真空泵接口: KF-25


6、软管接头: 1/4″


7、真空显示计: LED 数字式真空显示计, 测量范围 0.1mtorr-850torr

浮子流量混气系统


1、浮子流量计: 3 个, 精确度 4%FS


2、流量计范围: 10cc/min-100cc/min 16cc/min-160cc/min 25cc/min-250cc/min


3、压力表: 1 个,监测混合气体压力




产品规格

尺寸:管式炉 550mm×500mm×700mm,混气系统 600mm×600mm×700mm,真空机组 600mm× 600mm×700mm


重量: 210kg

可选配件

防腐型数字式真空显示计


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