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型号:

1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

描述:产品简介:1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,工作温度可达1600℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5torr

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-12
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详细介绍


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产品简介: 1700℃两通道混气高真空 CVD 系统 GSL-1700X-4-C2HV 是由单温区管式炉、两路质子混气系 统和高真空机组组成,工作温度可达 1600 ,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管 式炉内部, 本系统极限真空度可达 10-5 torr


产品型号

1700℃两通道混气高真空 CVD 系统 GSL-1700X-4-C2HV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源


4、工作台: 尺寸 1600mmL*600mm(W)*700mm(H),承重 150kg 以上


5、通风装置:需要

主要特点

1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。


2、采用高纯氧化铝纤维,有效减少热量损失。


3 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和使用寿命。


4 、采用 PID 控制器 ,可以设置 30 段升降温程序。


5 、已通过 CE 认证。




技术参数

管式炉


1 、电源: 单相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    6KW


2、炉管:高纯氧化铝陶瓷管, 外径 Ø100mm ,内径 Ø92mm ,长 1000mm


3、加热元件: 1800℃硅钼棒 8 


4、加热区域: 457mm


5、恒温区域: 150mm


6 、工作温度:  1650 ,连续工作 1600


7、升温速率:≤5/min


8、控温精度:± 1


9、热电偶: B 


10、不锈钢真空法兰: 1 


11、机械压力表: 1 


12、针阀: 2 


13、连接器: KF-25 1 


14、抽气接口: KF-25  KF-40


15、卡套接头: 1/4″

高真空机组


1、电源: 单相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    100W-110W


2、真空泵: 德国 Pfeiffer 真空泵


3、显示屏: LCD 数字显示


4、抽气速率: N2-33L/s He-39L/s H2-32L/s


5、工作范围: 1000mtorr-10-7mtorr

6、极限: 10-8mtorr  (无泄漏)





质量流量混气系统


1、电源: 单相 AC208V-240V    50Hz/60Hz    18W


2、功率: 18W


3、混气箱: Ø80mm×120mm

产品规格

尺寸: 管式炉 550mm×380mm×520mm ,高真空机组 600mm×600mm×700mm,质量流量混

气系统 600mm×600mm×700mm


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