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型号:

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

描述:产品简介:开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成,可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体,真空度可达10-2torr

  • 厂商性质

    经销商
  • 更新时间

    2024-03-12
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详细介绍


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产品简介: 开启式单温区低真空 CVD 系统 OTF-1200X-F3LV 是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道 浮子混气系统组成, 可为 CVD 或扩散实验提供 1-3 种的混合气体, 真空度可达 10-2torr


产品型号

开启式单温区低真空 CVD 系统 OTF-1200X-F3LV

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下, 温度 25℃±15℃ ,湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、电: AC220V 50Hz,必须有良好接地


3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源


4、工作台: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上


5、通风装置:需要

主要特点

1、双层壳体,配有循环风冷系统,壳体温度<60℃。


2 、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率,同时延长使用寿命。


3 、采用 PID 控制器 ,可以设置 30 段升降温程序。


4、设有超温及断偶报警功能。


5 、已通过 CE 认证。

技术参数

1 、电源: AC 220V    50Hz/60Hz    2.5KW


2、石英管: 外径 Ø80mm ,内径 Ø75mm ,长 1000mm





3、加热元件: 掺钼铁铬铝合金电阻丝


4、加热区域: 440mm


5、恒温区域: 150mm


6 、工作温度:  1200 ,连续工作 1100


7、升降温速率: 20/min


8、控温精度:± 1


9、真空度: 5.5×10-3torr (机械泵), 10-4torr  (分子泵)

10、泄漏率: <5mtorr/min

11、浮子流量计: 3 个; 10ml/min-100ml/min 16ml/min-160ml/min 25ml/min-250ml/min


12、压力表: 4 

产品规格

尺寸: 管式炉 550mm×380mm×520mm ,混气系统 600mm×600mm×597mm;重量: 60kg


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